はじめての半導体ドライエッチング技術/野尻一男

Name: はじめての半導体ドライエッチング技術/野尻一男
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野尻一男技術評論社カイテイバンハジメテノハンドウタイドライエッチングギジュツノジリカズオ発行年月：2020年10月24日予約締切日：2020年08月27日ページ数：200p サイズ：単行本 ISBN：9784297115999 野尻一男（ノジリカズオ） 1973年群馬大学工学部電子工学科卒業。1975年群馬大学大学院工学研究科修士課程修了。1975年（株）日立製作所入社。2000年ラムリサーチ（株）入社、取締役
・CTOに就任。2019年独立し、ナノテクリサーチ代表として技術および経営のコンサルティングを行っている。1989年「有磁場マイクロ波プラズマエッチング技術の開発と実用化」で大河内記念賞を受賞。1994年「低温ドライエッチング装置の開発」で機械振興協会賞通産大臣賞を受賞。2019年DPS　Nishizawa　Awardを受賞（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 1章　半導体集積回路の発展とドライエッチング技術／2章　ドライエッチングのメカニズム／3章　各種材料のエッチング／4章　ドライエッチング装置／5章　ドライエッチングダメージ／6章　新しいエッチング技術／7章　アトミックレイヤーエッチング（ALE）／8章　ドライエッチング技術の今後の課題と展望本科学
・技術工学電気工学

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_{最終更新日: 2025-01-02 08:44:37}

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はじめての半導体ドライエッチング技術/野尻一男のスペック・仕様・特長

書名カナオタマジャクシツカマエタ

著者名石井勉

著者名カナイシイ,ツトム

シリーズ名えほんのもり

シリーズ名カナエホンノモリ

発行者文研出版

発行者カナブンケンシユツパン

ページ数３２ｐ

サイズ 27

製品番号 824126

ブランド 0000

janコード 9784297115999

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