これからのMEMS LSIとの融合 / 江刺正喜 【本】

出荷目安の詳細はこちら内容詳細MEMSはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用をMEMS研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのMEMS」続編。目次 : 第1章　ヘテロ集積化（MEMSとLSIの融合）/ 第2章　次世代携帯機器/ 第3章　センサネットワーク
・高機能センサ/ 第4章　光マイクロシステム/ 第5章　バイオ
・医療用マイクロシステム/ 第6章　製造
・検査装置/ 第7章　高度化と有効活用への道